內容簡介
《微機電系統動力學》著重介紹微機電系統動力學的相關理論基礎與套用。全書共分為7章,主要內容包括微機電系統及微機電系統動力學科學問題的發展背景、現狀和未來的介紹;微驅動原理及尺度效應、微機電系統動力學相關理論基礎的概述;微機電系統宏建模與分析方法、多能量場耦合降階建模與模擬仿真技術的介紹;微機電系統中涉及的多種氣體阻尼和熱彈性阻尼特性的分析與探討;靜電驅動微機電系統非線性動力學特性和微轉子系統中的摩擦磨損行為、氣體軸承動力潤滑特性和非線性振動特性等方面的論述;微機電系統動態特性測試技術的介紹。