X射線電子能譜法

X射線能譜分析法(XPS)是瑞典的西格巴赫(Siegbahn)於1954年首先發現的，利用這種方法可以進行除氫以外的所有元素的定性、定量和化學狀態分析，因此在材料學中有著廣泛的套用。

①定性分析元素周期表中的任何一種元素都有各自的原子結構，與其他元素不同，正是這種結構的不同，使得每種元素有自己的特徵能譜圖，所以測定一條或幾條電子線在圖譜中的位置，很容易識別出樣品顯示的譜線屬於哪種元素。由於每種元素都有自己的特定的電子線，即使是相鄰的元素也不可能出現誤判，因此用這種方法進行定性分析是非常準確的。

②定量分析 由於在進行元素電子掃描時所測得的信號的強度是樣品物質含量的函式，因此，根據所得電子線的強弱程度可以半定量或定量地得出所測元素的含量。之所以有半定量的概念，是因為影響信號強弱的因素除了樣品中元素的濃度外，還與電子的平均自由行程和樣品材料對激發X射線的吸收係數有關。

③化學狀態分析化學結構的變化和化合物氧化狀態的變化，可以引起電子線峰位的有規律的移動。據此，可以分析有機物、無機物的結構和化學組成。