簡介
是日本OKI和美國SMI在中國的授權代理商，專業銷售OKI的各種型號乾簧管和SMI的各種型號Mems壓力感測器和壓力晶片及晶圓。
SM5651/SM5652具有以下型號：
SM5651-001
SM5651-003
SM5651-008
SM5651-015
SM5652-030
SM5651-SM5652微差壓變送器、全自動透氣性測試儀、YG461/YG461D型數字式織物透氣量儀和透氣量儀專用美國SMI微差壓感測器，如：SM5470、SM5651/SM5652、SM5852、SM5882等，其中SM5651/SM5652在紡織透氣中的套用性價比非常高。
SM5651/SM5652為OEM壓力感測器，完全校準和溫度補償微差壓雙列直插高性能壓力感測器。 SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩定壓阻式壓力感測器晶片，利用陶瓷基板上的薄膜電阻進行零度校正、零點溫度補償和靈敏度溫度補償。SM5651隻能用恆流驅動，一個額外的電阻修剪正常化的外部差分放大器的輸出提供了跨度校準。而SM5652在恆壓激勵下對輸出信號很容易進行放大。 SM5651晶片有額外的增益電阻，採用恆流激勵，SM5652採用恆壓激勵。
特點
微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi
恆流或恆壓激勵
溫度補償範圍寬（0-60℃）
跨度校準正高達±2%
零點校準及溫度補償
高性能、穩定的矽晶片封裝
表壓和差壓配置
套用
醫療設備 呼吸機、麻醉機和監護儀
HVAC（空調）
水平監測
流量測量
工業控制
微差壓變送器
性能參數
測試的條件是：SM5651激勵電流源為1.5mA，室溫為25℃；SM5652激勵電壓源為10.00V DC，室溫25℃，除非另有規定。
| 最小值 | 典型值 | 最大值 | 單位 | |
| 激勵源 | ||||
| 激勵電壓源DC（SM5652） | >0 | 10.00 | 20.00 | V |
| 激勵電流源DC（SM5651） | >0 | 1.50 | 3.00 | mA |
| 滿量程輸出 | ||||
| SM5651滿量程輸出 | 25.0 | 45.0 | 75.0 | mV |
| SM5652滿量程輸出 | 24.5 | 25.0 | 25.5 | mV |
| 零點輸出 | -2.00 | +0.20 | 2.00 | mV |
| 溫度係數 | ||||
| 滿量程溫度係數 | -0.65 | +0.20 | 0.65 | %FS |
| 零點溫度係數 | -1.00 | +0.20 | 1.00 | %FS |
| 溫度遲滯性 | -0.30 | +0.05 | 0.30 | %FS |
| 準確度 | ||||
| 線性度（非線性誤差） | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
| 重複性 | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
| 壓力遲滯性 | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
| 靈敏度匹配性 | -2.0 | -0.2 | +2.0 | %FS |
| 阻抗（ SM5651 ） | ||||
| 輸入阻抗 | 1.80 | 3.00 | 3.80 | kΩ |
| 輸出阻抗 | 2.70 | 3.30 | 3.80 | kΩ |
| 阻抗（ SM5652 ） | ||||
| 輸入阻抗 | 4.50 | 8.00 | 25.00 | kΩ |
| 輸出阻抗 | 2.00 | 2.50 | 3.80 | kΩ |
| 溫度範圍 | ||||
| 補償溫度 | +0 | +60 | ℃ | |
| 工作溫度 | -40 | +125 | ℃ | |
| 存儲溫度 | -40 | +125 | ℃ | |
| 動力特性 | ||||
| 耐壓 | 10Ⅹ | Rated FS | ||
| 爆破壓力 | 15Ⅹ | Rated FS | ||
備註：
1、正壓指的是從晶圓底部進入；增益，在工廠校準使用的是負壓
2、對於SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(最小)至26.25（最大）
3、測量溫度超過22~58℃ 對於量程為0.15psi，滿量程溫度係數為±2%FS；零點溫度係數為±2%FS；對於量程為0.3psi，滿量程溫度係數為±0.75%FS
4、對於量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對於量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、最佳直線擬合，是從晶圓頂部測量的 對於量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對於量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對於量程為0.15psi，靈敏度匹配性為5.0%FS
