具體介紹
OLYMPUS MX61L具體介紹 :
OLYMPUS MX61L| 型號 | OLYMPUSMX61L型顯微鏡 | |
| 光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正光學系統） | |
| 顯微鏡鏡體 | 射光照明（F.N. 26.5） | 12V100W鹵素燈泡（預定心型） 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組（選配） ，轉換使用內置電動孔徑光闌（每個物鏡可預設，物鏡轉換時自動轉換，暗視場觀測時自動打開） |
| 觀測方法 | ||
| ①反射光明視場法；②反射光暗視場法；③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；④反射光簡單偏振法；⑤反射光螢光法；⑥反射光照明法（IR）⑦透射光明視場法；⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | ||
| 觀察鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型 其它：超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒（F.N. 26.5） ：MX-SWETTR型或U-SWETTR型（MX-SWETTR是MX61L的標準配置） |
| 換鏡轉盤 | 電動五孔明/暗視野法用轉盤，配備滑槽用於微分干涉襯比法觀測：U-D5BDREMC型 | |
| 載物台 | MSS-300A：12寸*12寸，行程：356×305mm 原裝日本中央精機2軸電動平台，可以進行XY軸同時聯動。 帶12寸晶圓載物台板。 | |
| 內置反射光源：100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz | ||
| 能耗 | ||
| 體積/重量 | 體積：約710（寬）×843（長）×507（高）mm 重量：約51kg（載物台約重31kg） | |
特點
半導體/FPD檢查顯微鏡；為用戶提供高效率。
MX61適用於最大200mm的樣本，而MX61L則可適用於最大300mm的樣本。
1、大型載物台搭載：可用於400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(MX61L)。
2、採用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利。
3、多種觀察方式，多種照明方式，多種附屬檔案以滿足不同套用要求。
4、透射和反射照明可同時使用，極大提高液晶基板觀察效果。
對比
OLYMPUS MX61L與OLYMPUS MX61的對比：
| 半導體/FPD檢查顯微鏡 規格 | MX61L | MX61 | ||
| 光學系統 | UIS2光學系統（無限遠校正） | |||
| 機身 | 觀察方法 | 明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/螢光 | ||
| 反射/透射 | 反射/透射 | |||
| 照明裝置 | 機身一體型（明視場，暗視場+1選件） | |||
| 照明系統 | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | ||
| 透射照明 | 纖維光導 | |||
| 對焦單元 | 電動/手動 | 手動 | ||
| 行程 | 32 mm | |||
| 解析度/微調靈敏度 | 微調旋鈕轉動1周移動0.1 mm | |||
| 最大樣本高度 | 30 mm | |||
| 物鏡轉換器 | 電動型 | 明視場微分干涉6孔 | ||
| 明暗視場微分干涉5孔 | ||||
| 明暗視場微分干涉6孔 | ||||
| 明暗視場微分干涉中心輸出5孔 | ||||
| 手動式 | - | |||
| 載物台 | 行程 | 14×12英寸右下手柄： 356（X）×305（Y）mm （透射照明範圍356×284 mm） | 8×8 英寸右下手柄： 210（X）×210（Y）mm （透射照明範圍189×189 mm） 6×6 英寸右下手柄： 158（X）×158（Y）mm | |
| 觀察筒 | 廣角視場 （視場數22） | 倒置 | 雙目/三目觀察筒 | |
| 正像 | 三目觀察筒 | |||
| 超寬視場 （視場數26.5） | 倒置 | 三目觀察筒 | ||
| 正像 | 傾斜三目觀察筒 | |||
| 附屬檔案單元 | IR單元/電動載物台/自動裝載 | |||
| 外形尺寸 | 710（W）×843（D）×507（H）mm （標準組合） | 509（W）×843（D）×507（H）mm （標準組合） | ||
| 重量 | 51 kg（標準組合） | 40 kg（標準組合） | ||
