Hexsil

是一種準LIGA工藝，指利用高深寬比刻蝕技術（如DRIE）在矽片或其他基片上刻蝕出高深寬比結構，然後採用電鍍或澱積加犧牲層腐蝕該模具的辦法獲得金屬或矽元件的工藝過程。 也指大高寬比圖形。 詞條圖冊更多圖冊

是一種準LIGA工藝，指利用高深寬比刻蝕技術（如DRIE）在矽片或其他基片上刻蝕出高深寬比結構，然後採用電鍍或澱積加犧牲層腐蝕該模具的辦法獲得金屬或矽元件的工藝過程。
也指大高寬比圖形。