HAZ

定義

HAZ: Heat affected zone

熱影響區域

金屬材料受到熱影響導致金屬原子間再結晶，形成新的晶粒，該部分區域稱為HAZ。

HAZ

觀察方法

1.表面化學腐蝕法

先使用Wire Bonder製作燒成球的樣本，然後在王水溶液中浸泡3~5秒，取出後充分清洗，然後在高倍電子顯微鏡下即能觀察。

2.Plasma etching

一種使用電漿擊穿樣本表面，清理晶粒之間的縫隙，使晶粒更加明顯的方法。處理好後也同樣在高倍電子顯微鏡下觀察。