黃光膜的功能作用及適用範圍
產品介紹：
黃光室是進行IC晶片微影成像術的區域，將光阻材料利用旋鍍法被覆在晶園上，而後再放置於曝光機下進行曝光，以使紫外線光源透過光罩照射於光阻而得到感光圖像，最後再以藥劑進行顯影而得到實際圖像。
黃光膜早期曝光機的光源為全光譜光源，後演進到G-LINE（436mm）光源，目前最為廣泛使用的為I-LINE（436mm）光源，對於0.3ūm線寬以下的IC製程，則需採用深紫外線（deepUV）248mm光源，甚至X光或電子束，目前光源較採用高壓水銀（汞）弧燈，由於其特性頻譜，所以須經過濾光片以獲得所需的I－LINE(365mm)光線。
為了避免光阻在曝光前、曝光後受到曝光機以外的光線照射而曝光，所以整個作業必須在黃光室下進行，換言之，所有照明用的光源須加以過濾，照明燈底罩及各式隔間門及窗皆應具有過濾波長380mm紫外光的能力。但必須注意的一點，有些黃色透明板雖然具有黃光，但對於紫外光卻未完全隔絕，嚴格來說，這是不合格的產品。因為常被用於黃光室的5mm黃色壓克力板，在I－LINE（365mm）附近確有不少的穿透率。
黃光膜基本描述：
顏色描述金黃
厚度（密爾/mil）2mil
透光率%35
隔熱率%23
紫外線隔斷率%99
入箱標準（米/M）1.52M(寬)×12M/30M/60M(長)
●阻隔紫外線：保護身體健康，防止家具褪色;
●防眩光：阻擋太陽刺目的眩光，防止光污染，保護視力；
●防爆防震：減少意外傷害，構築“隱形防盜網”保護私人財產;
●隔熱保溫：調節室內溫度，從此告別空調“燒錢”的困擾;
●裝飾美觀：美化建築物的整體外觀效果，改善室內環境；
