馬鐵英
職 稱 副教授 一級學科 電子科學與技術
二級學院 光學與電子科技學院
二級學科 物理電子學
研究方向 MEMS紅外感測器、半導體工藝、光電薄膜材料
在研課題
浙江省自然科學基金 Y1080072 基於微橋諧振器的新型紅外探測器理論及關鍵技術研究2009.1-2011.12 2/6
主要專著
1．Tieying Ma ，Yidong Liu, and Tie Li.A 〈1 0 0〉 direction front-etched membrane structure for a micro-bolometer. J. Micromech. Microeng.2009（19）：5022-5030 （IOP，SCI收錄：）
2．馬鐵英，李鐵，劉文平，王躍林.非晶矽薄膜的紅外熱敏特性.半導體學報.2008（11）：2265-2270（EI收錄）
3．馬鐵英，李鐵，劉文平，王躍林.熱敏材料摻磷非晶矽的退火行為.功能材料與器件,2007 (6)：588-592（EI收錄）
4、馬鐵英，李鐵，劉文平，王躍林.非致冷微測輻射熱計的熱學設計與分析. 紅外與雷射工程.2007(6):920-923（EI收錄）
5、馬鐵英，李鐵，劉文平，王躍林.退火對PECVD製備的摻磷矽薄膜及其電阻溫度係數影響的研究. 人工晶體學報.2007(2):448-452（EI收錄）
6、馬鐵英，劉煥林，陳剛，楊宇.電子束蒸發a-Si:Co 薄膜的離子注入改性研究.功能材料，2004 (5): 576-578（EI收錄）
7、馬鐵英，王光科，楊瑞東，楊宇， a-Si 基紅外探測材料，雲南大學學報,2003(6)：178-182 個人簡歷
2004年6月畢業於雲南大學材料科學與工程系，獲工學碩士學位。同年進入中國科學院上海微系統與信息技術研究所，攻讀微電子與固體電子學博士學位。2007年6月畢業後進入中國計量學院光電分院工作至今。曾先後參與多項國家科技部、中科院、上海市重要課題的研究和開發工作。目前從事的主要研究領域是MEMS紅外感測技術、半導體工藝等。先後在國際刊物“Journal of Micromechanics and Microengineering”和國內一級期刊上發表論文10餘篇。
