泵的極限壓力為10-7～10-8帕,工作壓力範圍為10-1～10-7帕,要求預抽壓力為1帕。
簡介
泵不消耗氦氣﹑操作簡便﹐易於維修﹐套用日漸廣泛。制冷機的製冷介質為氣氦﹐一級冷板溫度為50～100K﹐用來冷凝水蒸汽和預冷其它氣體﹔二級冷板溫度為10～20K﹐用來冷凝氮﹑氧和氬等氣體。在二級冷板的內表面塗以活性炭。活性炭的比表面積為500～2500米2/克﹐在低溫下對氦﹑氖和氫有很強的吸附能力。冷板由無氧銅製成﹐表面拋光達到鏡面程度﹐以減小輻射係數。泵的極限壓力為10-7～10-8帕﹐工作壓力範圍為10-1～10-7帕﹐要求預抽壓力為1帕。製成的產品抽氣速率已達60000升/秒(1升=10-3米3)。此外﹐尚可根據工藝的特點把抽氣冷板安排在被抽容器內﹐其抽氣速率可達到106 升/秒以上。
熱負載
低油泵的熱負載主要是氣體的凝結熱和周圍壁面對工作冷板的輻射熱。凝結熱與氣體種類有關﹐對於 80K﹑133.322帕‧升的氮氣冷凝在20K冷板上的凝結熱為0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者 4次方之差成正比。因此﹐4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板來禁止﹐以減少工作冷板所接受的輻射熱。
