面精度

面型精度是採用精密拋光表面與理想平面的偏差量來表征的數據。

面型精度採用精密拋光表面與理想平面的偏差量來表征。因為使用可以測量波面的干涉儀來測量，所以也稱為反射面精度。面型精度的干涉條紋數的單位是[λ ]。λ是干涉儀所用的氦氖雷射器的波長632.8nm。

表征面型精度有兩個參數：PV和RMS值。

PV值是 Peak to Valley （峰值與谷值的差值 ），RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根據經驗RMS值是PV值的1/3左右。因為像平面這類的簡單形狀，大多使用PV值來表示。

例如：面型精度的PV值是1/4λ時，表示理想平面的最大偏差值是158.2nm。