雙輝光等離子滲金屬
1.形式:主要有立式和臥式兩種。極限真空可達10³Pa,最高工作溫度1200℃。其結構簡單,特點突出。2.結構:多陰極輸入裝置;高溫禁止裝置;高溫絕緣裝置;多電極結構裝置;多氣路輸入裝置,可通入各種氣體,如:N2、H2、NH3、Ar、S、O2等含碳氣,含硫氣,實現多種工藝組合。
3.功能:滲金屬與非金屬元素單元或多元複合滲鍍功能;沉積薄膜功能;離子注入功能;
4.目標:實現材料表面性能的大幅度提高5.結果:材料表面形成數十~數百毫米的高合金層。如表面高速鋼、表面不鏽鋼、表面高鉻鋼、鎳基合金、鈷基合金等等。
二、技術1..原理:利用低溫電漿放電技術、離子陰極濺射技術、尖端放電技術、空心陰極效應實現材料表面滲鍍層。2.結果:滲鉻、鉻-鉬共滲、鎢-鉬共滲、鎢-鉬-鉻共滲、鉻-鎳共滲形成表面高合金層,表面合金元素含量可達10%以上;層深可達數十到數百微米,強化層可達數毫米;表面硬度1000HV以上。在刀具表面進行氮化鈦沉積,獲得呈金黃色的氮化鈦(TIN)超硬薄膜(塗層),使用壽命可提高2-8倍,提高切削效率30%。具有良好的耐腐蝕性、抗氧化性、耐磨和減磨性能,還可改善工件表面粗糙度及精度,亦可用於表面仿金裝飾。3.效果:耐磨性、耐腐蝕性、高溫抗氧化性能以及延長使用壽命數倍到數十倍以上。4.前景:用於石油、化工、機械、電子、材料、航空、航天、運載等領域,具有十分廣闊的套用前景。
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