超聲掃描顯微鏡介紹
它是全球最新一代的超聲測試設備,可在生產線中用手工掃描方法來檢測器件的缺陷等。該設備可利用不同材料對超音波聲阻抗不同,對聲波的吸收和反射程度不同,來探測半導體、元器件的結構、缺陷、對材料做定性分析。先進的聲學顯微成像( AMI )的技術是諸多行業領域在各類樣品中檢查和尋找瑕疵的重要手段。在檢查材料本身或粘結層之間必須保持完整的樣品時,這項技術的優勢尤為突出。超高頻超聲檢查可以比其他任何方法都更有效地檢測出脫層,裂縫,空洞和孔隙。
原理
是一種非破壞性的檢測組件的完整性,內部結構和材料的內部情況的儀器,作為無損檢測分析中的一種,它可以實現在不破壞物料電氣能和保持結構完整性的前提下對物料進行檢測。被廣泛的套用在物料檢測(IQC)、失效分析(FA)、質量控制(QC)、質量保證及可靠性(QA/rel)、研發(R&D)等領域。
其可以檢測:
1.材料內部的晶格結構,雜質顆粒;
2.內部裂紋;
3.分層缺陷;
4.空洞、氣泡、空隙等等
超聲掃描顯微鏡的特點
超音波探頭頻率:5M到40M
超音波掃描模式:A-Scan(某點掃描)、B-Scan(塊掃描)、C-Scan(層掃描)、Multi-Scan(多層掃描)、Q-BAM(虛擬橫截面)、T-Scan (穿透式掃描)、3-V(3維圖像)、Tray-Scan(盤掃描)
最大掃描範圍:12.9X12.4英寸
最大解析度:8192X8192
選擇的聲波寬度:0.25納秒到1微秒
Z軸解析度:80納米
優勢
數據精確性:公司的專有信號處理算法可提供極其精確和可靠的評估。使用公司先進的聲阻抗極性探測器(AIPD)™,甚至可以檢測到僅200埃厚度的分層。此外,根據掃描尺寸與像素密度(解析度)情況,聲像可高達256兆像素。這種卓越的數據精確性正是司在缺陷檢測和診斷(破損分析)領域方面取得突出成就的一個重要原因。精確的數據固然重要,然而利用該數據做出相應決策更加重要。公司擁有先進的工具和技術,能將精確數據迅速轉變為可用性信息,同時還具備多種分析功能可以幫助識別各種缺陷,並確定缺陷的嚴重程度。在AMI成像中,各種彩圖顯示了詳細的分析信息。公司的數字圖像分析器(DIA)™採用先進計算方法處理數據,幫助客戶建立自動化的接受/拒收標準。
圖像質量:聲學顯微鏡的圖像質量主要取決於成像透鏡。因為感測器/透鏡是非常重要的元件,所以公司在我們自己的實驗室生產該類元件。實際上,是唯一一家設有感測器/透鏡研發實驗室和製造廠的AMI公司。其他AMI設備所使用的市場上可以買到的普通感測器無法達到獨特和專有的標準。感測器專為AMI分析而開發,可以提供最大的解析度和穿透性。提供最多元化的超高頻感測器,有標準件也可根據您需要特別定製。同時我們還提供技術服務,可根據您特定套用為您最佳化解析度和對比度。所有透鏡都經過感測器校準來驗證解析度,以確保性能最佳。超高頻感測器可以提供高達7微米的解析度。右側的圖像可以證明感測器的極佳解析度。