超精加工的定義
定義2：用細粒度的磨具(油石)對工件施加很小的壓力，並作短行程往復振動和慢速相對
進給運動，以實現微量磨削的一種光整加工方法。
超精加工的工藝
1）切削角
切削角指加工表面上某點的切削速度方向和該點的實際運動方向之間的夾角
經驗：
粗超加工時以去除磨削變質層和加工餘量為主，切削角應該選擇大，一般取20°~40
°
精超加工時以降低表面粗糙度值為主，切削角應該選擇小，通常在5°~10°之間較為
合適
2）油石的振動頻率
油石振動頻率的高低是決定超精加工效果的關鍵因素。振動頻率高，磨粒對工件
的切削次數增加，切削作用強，反之就弱。
3）油石的振幅
油石的振幅越大，切削作用越強，生產效率越高，但表面質量不好，不利於降低表面
粗糙度值。
經驗：
在粗逾時，切削作用要強，應選擇較大的振幅，一般為3~5㎜；
在精逾時，為降低表面粗糙度，振幅應小一些，一般為1~3㎜。
4）工件速度
工件的圓周速度對超精加工也較大的影響，工件速度大時，切削角小，切削作用弱，
有利於降低表面粗糙度。
經驗：
通常在切削階段工件速度取15~20米/秒在精超加工時，為降低表面粗糙度，工件速度
一般取25~35米/秒。
5）油石壓力
油石作用於工件表面上的壓力越大，切削量就越大，加工效率就越高，但不利於降低
工件的表面粗糙度，適合於粗超階段；油石壓力低，鈍化的磨粒不易脫落，切削作用降
低，磨粒的切削深度小，有利於降低工件表面的粗糙度，加工後工件表面質量較好，適
合於精超階段。
經驗：
一般粗逾時，油石壓力為0.2~0.6MPa，精超加工時，油石壓力為0.15~0.2MPa.
超精軸承的特點
1、能有效的減小波紋度。
在超精研過程中，為了能夠保證油石始終作用於波峰而不與波谷接觸，油石與工件接
觸的圓弧≥工件表面波紋度的波長，這樣一來，波峰的接觸壓力較大，凸峰就被切除，
從而減少了波紋度。
2、改善球軸承滾道的溝形誤差。
超精研可以有效的改善30%左右滾道的溝形誤差。
3、能使被超精研表面產生壓應力。
超精研過程中，主要產生冷塑性變形，從而使得超精研後，工件表面形成殘餘壓應力
。
4、能使套圈工作表面的接觸面積增加。
超精研後，套圈工作表面接觸支承面積可由磨削後的15%～40%，增加到80%～95%。
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