超微量氣體流量計

超微量氣體流量計

氣體計量在現代工業生產過程中占有重要地位,一方面,新工藝和新技術等制約其發展的關鍵領域的突破,尤其是微電子技術的迅速發展,使微量氣體計量由機械式向智慧型化、模組化方向發展,其套用範圍得到了極大的擴展;另一方面,隨著環境監測、航空航天等套用領域對氣體計量準確度要求的不斷提高,對氣體計量可靠校準和溯源的研究越來越受到重視。 超微量氣體流量計適用於檢測微小氣體流量,在精密半導體產業、氣體泄漏探測、真空鍍膜等領域有著廣泛的套用。

套用範圍

用於超微流量氣體計量,測量精度可達ppm級別,可適用於普通氣體、惰性氣體、稀有氣體及輕微腐蝕性氣體的測量。適用於氫能、太陽能、沼氣技術、環境微生物降解、污水處理、燃料電池等研究領域。

技術特點

RTK超微量氣體流量計採用自主發明專利技術Gas Metering Cell(GMC),結合自主智慧財產權的軟體,簡便、精確、直接測量氣體體積或質量,測量精度可達ppm級別。

可根據需要拓展為多通道,輕鬆實現平行實驗,提高工作效率和數據可靠對比性。

技術指標

測量範圍:最小流量為1毫升/天(ml/d),最大流量為50升/天(L/d)。

測量精確度:<1%。

測量解析度:<1 mL。

通道數:4通道、8通道、16通道。

數據顯示:PC端界面數據、圖形結合顯示。

適用範圍:可用於各種常規氣體及輕微腐蝕氣體的測量。

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