【蘇婆訶（梵sva^ha^）】
’《尊勝佛頂修瑜伽法軌儀》卷上雲（大正19·368c）︰‘若除災念誦時，真言初後加以娑 賀二字。’又，《金剛頂經瑜伽觀自在王如來修行法》說唵阿嚕力娑 訶之布字觀法，謂曰（大正19·77a）︰‘娑 安心臍，其狀作赤色，常能想是字，速得轉法輪。訶字置兩足，其色如滿月，行者作是想，速得達圓寂。’
按，此語原義為供物，又指呈獻供物予諸神時之感嘆詞。密教諸經軌章疏則釋以‘成就、警覺’等義。如《仁王般若念誦儀軌》卷下謂‘娑 訶’即‘成就、吉祥、圓寂、息災、增益、無住’之義。《大日經疏》卷四則謂‘莎訶’乃‘警覺’義。該書卷七謂‘攝取’義，卷九說‘警覺、憶念持’二義。《陀羅尼集經》謂‘散去’義。此等諸義均可適用，然一般多解作‘成就、圓滿、警覺’三義。
《大日經疏》卷四采此中之‘警覺’義。文雲（大正39·622a）︰
‘末句雲莎訶是警覺義，以一切如來本行菩薩道時，同見如是義故，必定師子吼發誠實言，我要當以此阿字門遍淨無盡眾生界，若我此誓不虛者，其有一切眾生誦我誠言，不虧法則，則當如其所願皆充滿之，我今以隨如來三昧耶教說此真言，唯願不違本誓故，令我道場具足嚴淨，故云莎訶也。以下諸真言云莎訶者，其義大同。’
