薄膜式應變片

薄膜式應變片的敏感柵是以蒸鍍或濺射法沉積的金屬、合金薄膜製成的。 實際上，通常是將薄膜式應變片與感測器的彈性體製成一個不可分割的整體，亦即在感測器彈性體的應變敏感部位表面上首先沉積形成很薄的絕緣層，然後在其上面沉積薄膜應變片的圖形，然後再覆上一層保護層。 由於薄膜式應變片與感測器的彈性體之間只有一層超薄絕緣層（厚度僅為幾個納米），很容易通過彈性體散熱，因此允許通過比其他種類應變片更大的電流，並可以獲得更高的輸出和更佳的穩定性。

薄膜式應變片的敏感柵是以蒸鍍或濺射法沉積的金屬、合金薄膜製成的。其厚度一般在0.1μm以下。實際上，通常是將薄膜式應變片與感測器的彈性體製成一個不可分割的整體，亦即在感測器彈性體的應變敏感部位表面上首先沉積形成很薄的絕緣層，然後在其上面沉積薄膜應變片的圖形，然後再覆上一層保護層。由於薄膜式應變片與感測器的彈性體之間只有一層超薄絕緣層（厚度僅為幾個納米），很容易通過彈性體散熱，因此允許通過比其他種類應變片更大的電流，並可以獲得更高的輸出和更佳的穩定性。