簡介
1000級萬級潔淨室萬級淨化主要靠潔淨的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現潔淨效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的無塵室，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現.。 目前有 十萬級和 三十萬級兩種標準。
(1~百萬級）
美國209E
歐洲標準
潔淨室
概念
潔淨室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清淨室。
「潔淨室」是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
作用
潔淨室最主要之作用在於控制產品(如矽晶片等)所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間我們稱之為「潔淨室」。
世界各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較。
209E與209D等最大之不同在於209E表示單位增加了公制單位，潔淨室等級以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介於前後二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。
美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是採用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方，取其指數而得。
潔淨室分類
（1）、工業潔淨室——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。 它適用於精密機械工業、電子工業（半導體、積體電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光碟、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬碟、電腦磁頭生產等多行業。
（2）、生物潔淨室，主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為； A、 一般生物潔淨室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔淨室。例：製藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學安全潔淨室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔淨實驗室、物物工程（重組基因、疫苗製備）
亂流潔淨室的原理和特性
1、定義：亂流潔淨室的定義是氣流以不均勻速度、不平行流動、伴有回流或渦流的潔淨室.
2、原理：亂流潔淨室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，將污染空氣逐漸稀釋，來實現潔淨的（亂流潔淨室一般設計在千級以上至30萬級淨化級別）。
3、特性：亂流潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨級別。換氣次數決定定義中的淨化級別（換氣次數越多，淨化級別越高）
（1）、自淨時間：是指潔淨室按設計換氣次數開始送風到潔淨室，室內含塵濃度達到所設計的淨化級別的時間。 1,000級希望不超過20min(分鐘) (可取15min計算) 10,000級希望不超過30min(分鐘) (可取25min計算) 100,000級希望不超過40min(分鐘) (可取30min計算)
（2）、換氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時 (規範:50次/小時) 10,000級 23.8—28.6次/小時 (規範:25次/小時) 100,000級 14.4—19.2次/小時 (規範:15次/小時)
潔淨室換氣次數估算
千級潔淨室不小於50次/h；
萬級潔淨室不小於25次/h；
十萬級潔淨室不小於15次/h。
萬級換氣次數 ≥25次/小時（一般取27-28）；十萬級換氣次數≥15次/小時（一般17-18）
但是不能盲目按照換氣次數進行設計風量，要考慮房間及工藝餘熱、余濕。
