名字由來
1955年3月，山東省人民政府決定，山東省人民政府臨沂區專員公署，改為山東省臨沂專員公署。
1967年1月，山東省臨沂專員公署被民眾組織奪權，4月9日成立山東省臨沂地區革命委員會。
1978年7月，山東省臨沂地區革命委員會改為山東省臨沂地區行政公署。行署駐臨沂城。
所轄縣市
臨沂行署轄以下縣市：
•臨沂市：1958年12月，臨沂縣改為臨沂市；1963年3月，撤銷臨沂市，恢復臨沂縣；1983年9月復設臨沂市，市人民政府駐臨沂城。
•郯城
•蒼山：1953年7月，撤銷蘭陵縣，其所轄部分區來屬。
•莒南
•莒縣：1953年7月，撤銷莒沂縣，其所轄4個區來屬；1992年12月，莒縣劃入日照市。
•沂水：1953年7月，撤銷莒沂縣，其所轄部分區來屬。
•蒙陰
•平邑：1953年7月，撤銷白彥縣，其所轄白彥、苗莊，山陰、臨澗等區來屬。
•費縣
•沂南：1958年12月撤銷，轄區分別併入臨沂、沂水、蒙陰、莒縣；1961年4月，恢復沂南縣建置。
•臨沭：1956年2月撤銷，轄區分別併入臨沂、郯城、莒南；1961年4月，恢復臨沭縣建置。
•日照：1984年3月，析日照縣的石臼鎮和8個鄉，設定臨沂地區行政公署石臼港辦事處；1985年3月，撤銷日照縣和石臼港辦事處，設日照市；1989年6月，國務院批准日照市升格為地級市，屬於山東省。
•沂源：1989年12月2日，國務院批准，沂源縣劃入淄博市。
改地級市
臨沂地區1994年12月，國務院批准撤銷山東省臨沂地區和縣級山東省臨沂市，設立地級臨沂市，屬於山東省。原市級臨沂市分為蘭山、河東、羅莊3個縣級行政區。地級臨沂市轄蘭山、羅莊、河東3區和郯城、蒼山、莒南、沂水、沂南、平邑、費縣、蒙陰、臨沭9縣。
