肖夏[天津大學教授]

1971年06月生，女，天津人，天津大學教授，博士生導師。

人物經歷

2002年3月畢業於德國開姆尼茨工業大學電子與信息技術學院，獲博士學位。教育部新世紀優秀人才支持計畫入選者。2002年4月至2003年3月為日本國立產業技術綜合研究所先進半導體研究中心博士後。2006年8月受聘日本廣島大學納米器件與系統研究中心客員教授。任IEEE會員，中國電子學會高級會員，日本電子情報通訊學會會員，中國微米納米技術學會會員。擔任多個國際會議的技術委員會委員及分會場主席。受邀為Materials Research Bulletin、Applied Surface Science、Chinese Physics Letters, IEEE BMEI, IEEE ICSICT, IEEE ICUWB IEEE ICCAS等國際期刊和會議審稿；國家自然科學基金等評審專家；擔任IEEE ICSICT2010、IEEE ICUWB2010, IEEE ICIE2010/IWEEC2010技術委員會委員及SOPO2009, ICMMT2008等多個國際會議的分會場主席. 2006年8月受聘為日本廣島大學納米器件與生命系統研究中心海外客員教授。

主講課程

半導體敏感器件，超大規模積體電路布線系統仿真，固態電子器件（雙語），理論物理。

研究方向

超大規模積體電路互連布線系統；超寬頻微波探測目標成像；MEMS設計與模擬。

主要貢獻

已發表學術論文60餘篇，其中SCI檢索16篇（SCI二區4篇），EI檢索32篇，出版書籍1本，授權日本發明專利1項。SCI文章引用50餘次。

代表著作

1)X. Xiao, X.M. Shan, Y. Kayaba, et al., Young's Modulus Evaluation by SAWs for Porous Silica Low-k film with Cesium Doping, Microelectronic Engineering 88 (2011), pp. 666-670.
2)Xingmeng Shan, Xia Xiao, Yaliang Liu, Determination of Young’s modulus and poisson’s ratio of nanoporous low-k thin film by laser-generated surface acoustic waves, Advanced Science Letter, 4, (2011), pp.12301234.
3)S. Kubota, X. Xiao, N. Sasaki, T. Kikkawa, et al., Confocal Imaging Using Ultra Wideband Antenna Array on Si Substrates for Breast Cancer Detection，Jpn. J. Appl. Phys., Vol.49, No. 9, 2010, 097001.
4)Xiao Xia，Shan Xingmeng，Liu Yaliang，Evaluating of Adhesion Property of ULSI Interconnect Films by the Surface Acoustic Waves，Chinese Physics Letter, 27(1) (2010) 018502.
5)Shan Xingmeng，Xiao Xia，Liu Yaliang, Determination of Young's Modulus and Poisson's Ratio of Nanoporous Low-k Thin Film by Laser-Generated Surface Acoustic, Advanced Science Letters, Vol.4, pp.1-5, 2011.
6)Xia Xiao and Takamaro Kikkawa, Influence of the Organism Interface on the Breast Cancer Detection by UWB, Applied Surface Science, 255(2), 2008, pp. 597-599.
7)Xia Xiao and Takamaro Kikkawa, Early Breast Cancer Detection by Ultra-wide Band Imaging with Dispersion Consideration, Jpn. J. Appl. Phys., 47 (4) (2008) 3209-3213.
8)Xia Xiao, Xueyi You, The determination for the adhesion of film and substrate by surface acoustic waves, Surface & Coatings Technology, 201, 2007, 9594–9597.
9)肖夏, 尤學一, 姚素英, 表征ULSI互連納米薄膜硬度特性的超聲表面波沿任意方向傳播的頻散特性,物理學報，2007，Vol.56 No.4. pp. 2428-2433.
10)閆陽，肖夏，姚素英，鄭雲光，張寅辰，高性能視覺半導體光電探測器設計及溫度特性研究，光電子×雷射，Vol.18, No.1, 2007，pp.46-48.
11)Xia Xiao, Xueyi You, Numerical study on surface acoustic wave method for determining Young's modulus of low-k films involved in multi-layered structures, Applied Surface Science, Vol.253, 2006, pp.2958–2963.
12)Xia Xiao, Xueyi You and Suying Yao, Theoretical Study of Mechanical Properties of Multi-layer ULSI Interconnect Dielectrics by Surface Acoustic Wave Method, Microelectronics Journal, 37(10), 2006, pp.1052-1055.
13)Xia Xiao, Suying Yao and Gang Ruan, The Influence of the Interconnection Configuration on the Thermal Dissipation of the ULSI Interconnect Systems, Chinese Journal of Semiconductors, 27(3), 2006, pp.516-523.
14)肖夏, 姚素英, 阮剛, 表面波表征ULSI互連布線雙層薄膜機械特性的理論計算,電子學報, 34(5), 2006, 774-777.
15)李志國, 肖夏, 張鑫慧, 姚素英, 表征ULSI低介電常數互連材料機械特性的表面波頻散特性,半導體學報, 26(10), 2005, pp.2032-2037.
16)X. Xiao, N. Hata, K. Yamada and T. Kikkawa, Mechanical property determination of thin porous low-k films by the twin-transducer laser generated surface acoustic waves, Jpn. J. Appl. Phys, Vol. 43, No. 2, 2004, pp.508-513.
17)X. Xiao, N. Hata, K. Yamada and T. Kikkawa, Mechanical Properties of Periodic Porous Silica Low-k Films determined by the Twin-transducer Surface Acoustic Wave Technique, Review of Scientific Instruments, Vol.74, No.10, 2003, pp. 4539-4541.
18)X. Xiao, X. You, G. Ruan, Compact Quasi-analytic equations for estimating the temperature distribution of ULSI interconnects, Microelectronic Engineering, Vol.60, No.3-4, 2002, pp. 415-428.
19)X. Xiao, R. Streiter, H. Wolf, G. Ruan, C. Murry，T. Gessner, Simulation for Dielectric Constant of Aerogel and Estimation of Their Water Content, Microelectronic Engineering, Vol. 55, No. 1-4, 2001, pp. 53-57.
20)X. Xiao, R. Streiter, G. Ruan, R. Song, T. Otto， T. Gessner, Modeling and Simulation for Dielectric Constant of Aerogel, Microelectronic Engineering, Vol. 54, No. 3-4, 2000, pp. 295-301.

在研項目

1)教育部新世紀優秀人才計畫項目，2009- 2011年。
2)國家自然科學基金項目：表面波無損表征ULSI銅與低介電常數介質布線薄膜機械特性與粘附性的研究，2009-2011年。
3)天津市套用基礎及前沿技術研究計畫重點項目：積體電路Cu/low-k互連薄膜機械可靠性研究，2010-2013年。
4)毫米波國家重點實驗室重點課題：早期乳腺腫瘤的超寬頻電磁波成像診查研究，2009-2011年。

已完成項目

1)國家自然科學基金:表面波方法研究積體電路互連布線的納米多孔介質硬度特性，2005-2007。
2)天津市自然科學基金項目: 高效納米晶體矽量子點冷電子場致發射顯示器件研究，2004-2006年。
3)RF圖像處理研究, 駿升科技，2009-2010。
4)教育部留學回國人員科研啟動基金：表面波方法研究超大規模積體電路低介電常數薄膜的物理特性，2005-2007年。
5)國家外專局引智項目：超大規模積體電路現代互連介質的特性研究，2005年。
6)天津市外專局引智項目：高效納米矽量子點電子發射極的研發，2004年。
7)天津大學自主創新人才項目：早期乳腺腫瘤的超寬頻微波成像技術研究，2010年。
8)天津大學面向21世紀教育振興行動計畫建設項目：超大規模積體電路多孔低k介電薄膜的研製及其機械特性先進評價系統的建立，2003-2006年。

獲獎記錄

1. 2008年入選教育部新世紀優秀人才；

2. 2008年度天津大學本科畢業設計優秀指導教師；

3. 第7屆固態電子學與積體電路技術國際會議，優秀論文獎，2004年10月；

4. 多孔低介電常數薄膜的結構物性評價技術開發，日本MIRAI優秀獎，2003年4月。