紫外晶體

氟化鈣

氟化鈣具有比石英玻璃更低的截止波長，工作在130nm~10um，氟化鈣在紫外波段的折射係數（n≈1.46）較低，是減反薄膜材料良好的選擇。
大多數氟化物是吸濕的，長時間暴露在大氣中時會降低紫外性能，引起水對紫外的吸收以及體積的變化，從而發生（或可能發生）形狀變化。
CaF2是柔軟易碎材料，尤其在拋光過程中易碎，很難給出表面粗糙度和彎曲度的公差。它在研磨時需要進行大面積清洗，以消除研磨過程所產生粒子對表面散射特性的影響。

氟化鎂

氟化鎂光譜範圍比石英玻璃有所增加，MgF2也屬於通用的減反膜料（n≈1.38），儘管如CgF2透明，但其性能方面不受水的影響。MgF2是唯一有負折射率TCN的材料。氟化物是最有效的短波長材料，然而，澱積到套用表面卻非常困難。往往需要高熱來電積材料。BaF2、MgF2 和SrF2材料性能均良好且實用，具有更硬、更容易拋光和幾乎不吸水的特性。LiF2晶體的短波紫外透過極限（105nm）比光學石英玻璃短（180nm），且化學穩定性極好，不易潮解。