純氬

純氬pare ar}cm純拭純度為99.9}ro.高純氨純度為99.999`。塵埃(}矛}1.J，二、)>;.5粒I}。贏是空氣中含量最多的一種稀有氣體。無色、無臭、不助姍、無毒。純氛可用低溫精溜法製取二純氛經銅爐rNi溫除氧，矽膠1;燥除水甲冉經除氮塔進一步精餾除氮，便得99.999的高純氫。純氫pr配製特種混合氣和_E業混合氣如電光源混合氣等高純氛作為保護氣和運載氣主要用於電子工業中半導體鍺、矽等的精煉和單晶矽的製備