秦明[東南大學教授]

性別： 男，出生年月：1967年10月，民族：漢，職稱： 教授，博士生導師，學歷： 博士，研究方向：MEMS感測器與微系統、MEMS材料與加工工藝等。1998年4月-1999年10月在香港科技大學電子與電機工程系開展博士後研究工作。目前是中國微米納米學會高級會員、中國儀器儀表學會感測器分會常務理事，中國電子學會敏感技術分會氣濕敏感測技術委員會委員、江蘇省電子學會積體電路分會和感測技術分會秘書長。

人物經歷

1998年4月-1999年10月在香港科技大學電子與電機工程系開展博士後研究工作。

1999年10月後回校工作，目前從事CMOS MEMS感測器與微系統的研究。2004年晉升教授。2004年獲選“教育部新世紀優秀人才”，2005年列入江蘇省青藍工程學術帶頭人培養計畫。目前是中國微米納米學會高級會員、中國儀器儀表學會感測器分會常務理事，中國電子學會敏感技術分會氣濕敏感測技術委員會委員、江蘇省電子學會積體電路分會和感測技術分會秘書長。

主講課程

金屬誘導非晶矽橫向晶化技術。

研究方向

MEMS感測器與微系統、MEMS材料與加工工藝、矽半導體場致發射理論與實驗研究等。

主要貢獻

完成國家級科研項目5 項，在Journal of Microelectromechanical Systems，Journal of the Electrochemical Society，Sensors and Actuators; Thin Solid Films等國內外期刊發表論文40餘篇；論文被國內外同行引用40餘次，獲中國發明專利6項。