真空腔體

這種真空腔體是為減少了半導體套用中真空腔的個數而研發的,而晶圓容量幾乎不變。 這種結構採用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。 Bearin

這種真空腔體是為減少了半導體套用中真空腔的個數而研發的,而晶圓容量幾乎不變。這種結構採用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產品的特點有改善的機台定位的靜態、動態回響,抽氣時間、穩定時間縮短等等。New Way Air Bearings Inc. …

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