現象簡介
在一定條件下，不同相(或固體、或液體、或氣體)物質間的物理化學反應，稱異相反應。薄膜的沉積生長就是通過固態生長表面與被其吸附的氣相產物之間的異相反應來進行的。
薄膜的沉積方法可以分為兩個不同的反應機構：化學氣相沉積（Chemical vapor deposition, CVD）和物理氣相沉積（Physical vapor deposition，PVD）。
均相反應與異相反應
1、均相反應
在單一固相、氣相、液相中進行的化學反應，即在反應過程中與其他物相沒有物質交換的反應。固體均相反應是指在單一的固相中結構組元發生的局域重排過程。
例如在鎳鋁尖晶石NiAl2O4中，鎳和鋁離子分別占據氧離子構成的四面體和八面體格位。在溫度變化時，鎳和鋁離子在兩種格位上的分布可以發生變化。這種離子格位的重排反應可以利用鎳離子的光譜變化測定。
在均相反應中，不存在原子或離子的長程運動和組合物相的體積也不發生改變。材料的很多相變過程，特別是二級相變過程屬於均相反應。
2、異相反應
在兩相或者三相中進行的化學反應，即在反應過程中與其他物相具有物質交換的反應。例如：以酶免反應為例，一個抗體包被在聚苯乙烯微孔板上（為固相），而被檢測的抗原在液體中（為液相），他們的反應是處於兩個相中，稱為異相反應。一般檢測大分子用此法。如肝炎標誌物，腫瘤標誌物和自身抗體等。而抗原和抗體都是在液相中，所形成的反應體系為均相反應，一般檢測小分子，如嗎啡，器官移植中抗排異藥物的檢測等可用此法。
