現代精密儀器設計[2004年清華大學出版社出版圖書]

《現代精密儀器設計》是2004年2月清華大學出版社出版的圖書，作者是李慶祥、王東生、李玉和。本書適用於測控技術與儀器、光學工程及機電類專業在專院校師生和從事儀器科學與技術及機電類形容、設計、製造、調修的工程技術人員學習和參考。

內容簡介

全書共分11章,包括現代精密儀器概論、精密儀器總體設計、精密儀器設計的精度理論、精密機械系統、微位移技術、光學系統設計、定位與測量系統、瞄準與對準系統、自動調焦系統、精密機械伺服系統設計、微型機電系統。

本書為高等工科院校“精密儀器設計”課教材，對與精密儀器設計有關的基本理論和方法及微型機電系統作了較全面系統的論述，薈萃了現代精密儀器的有關資料和科研成果，反映了該學科領域的當代發展水平。

圖書目錄

一、現代精密儀器設計概論

1.1 概述

1.2 現代精密儀器的基本組成

1.3 現代精密儀器設計的指導思想、原則與程式

思考題

二、精密儀器總體設計

2.1 設計方法概述

2.2 設計任務分析

2.3 主要參數與技術指標

2.4 總體方案的制定

思考題

三、精密儀器設計的精度理論

3.1 儀器精度理論中的若干基本概念

3.2 儀器誤差的來源與分析

3.3 儀器誤差的計算分析方法

3.4 儀器誤差的綜合

3.5 儀器精度設計與誤差分配

3.6 儀器的動態精度

思考題與習題

四、精神機械系統

4.1 基座與支承件

4.2 精密x-y工作檯

4.3 主軸系統

思考題與習題

五、微位移技術

5.1 概述

5.2 壓電、電致伸縮器件

5.3 電磁控制的微動工作檯

5.4 柔性鉸鏈

5.5 精密微動工作檯的設計及其特性分析

5.6 其他類型的微位移機構

思考題與習題

六、光學系統設計

6.1 概述

6.2 光輻射源及特片

6.3 信噪比的計算方法

6.4 光學系統基本參數的確定

6.5 光電系統中參數的確定

6.6 總體設計舉例

思考題與習題

七、定位與測量系統

7.1 概述

7.2 光柵定位測量系統

7.3 雷射干涉定位測量系統

7.4 其他編碼器

思考題與習題

八、瞄準與對準系統

8.1 接觸式瞄準方法

8.2 非接觸式瞄準方法

8.3 光電自動對準系統

思考題與習題

九、自動調焦系統

十、精密機械伺服系統設計

十一、微型機電系統

參考文獻