熱傳導真空計

熱傳導真空計原理
真空壓力表可直接測量電阻爐內氣體的壓力，屬絕對真空測量儀表。實際上在電阻爐真空度側量中，除極少數低真空採用直接測量方法外，絕大多數採用間接測量方法，即通過測量與氣體壓力變化引起的物理現象，間接地反映氣體壓力的大小。根據氣體分子熱傳導與壓力有關這一物理現象製成的，間接地測量氣體的壓力的真空計稱為熱傳導真空計。
在玻璃管殼中安裝一根熱絲，給熱絲通電發熱，使其溫度高於周圍氣體和管殼的溫度，於是在熱絲和管殼之間產生熱傳導。當達到熱平衡時，熱絲的溫度決定於氣體熱傳導。氣體壓力越高，傳導的熱量就越多，平衡溫度也就越低。由此可知，熱絲溫度與氣體壓力存在著一定的對應關係，通過測量熱絲的溫度，便可計算出氣體的壓力。依據熱絲溫度的測量方法不同，常見的熱傳導真空計有三種，利用熱絲隨溫度變化的線膨脹性質製成的膨脹式真空計;利用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化製成的熱偶真空計;利用熱絲電阻隨溫度變化的性質製成的電阻真空計，其中電阻真空計和熱偶真空計是目前低真空測量中用得最多的兩種真空計。