無接觸厚度測試儀

■厚度測試範圍：1000 ■厚度測試精度：+/-0.1um ■厚度重複性精度：0.050um

儀器簡介

儀器採用PHYS獨有技術，對透明、半透明材料的厚度、TTV進行無接 觸測量，其對透明、半透明材料的高精度精確測量的性價比在同類測試儀器中具有無可比擬優越性。

儀器特點

■無接觸無損傷測量
■高精確度及重複性
■測量材料範圍廣，透明、半透明、不透明幾乎所有材料的厚度、TTV
■抗干擾強，穩定性好
■強大的工控機控制和大螢幕顯示
■一體化設計操作更方便，系統穩定
■為晶圓矽片關鍵生產工藝提供精確的無接觸測量
■ 超高測試速度

部分技術參數

■測試尺寸：50mm-200mm.
■厚度測試範圍：1000 um，可擴展到1700 um
■厚度測試精度：+/-0.1um
■厚度重複性精度：0.050um
■TTV 測試精度: +/-0.05um
■TTV重複性精度: 0.050um
■測量時間: <1秒
■材料：透明、半透明材料
■尺寸: 560X650X400mm
■電源：220V 50HZ 300W