內容簡介
《泛結構化微機電系統集成設計方法》提出和建立了泛結構化微機電系統集成設計方法，系統性地論述了其理論體系和關鍵技術。本方法是在對當前微機電系統集成設計工具的體系結構、基礎理論、關鍵技術及發展趨勢等方面進行歸納和總結的基礎上，提出的一種新的方法和理論，是對當前通用的微機電系統結構化設計方法的重要發展和提高。依據本方法實現了國產微機電系統集成設計工具（MEMS Garden），並結合大量典型和複雜MEMS器件實例驗證了本方法和設計工具的實用性和先進性。 《泛結構化微機電系統集成設計方法》可供微機電系統相關學科的科研人員參考。
