南陳禎明三年(589年),懷安縣、欣樂縣、酉平縣三縣合置歸善縣。
隋朝開皇十年(590年),合併梁化郡、義安郡、始興郡、東官郡置循州,歸善縣為循州治所。
南漢乾亨元年(917年)析循州之海豐縣,河源縣、博羅縣、歸善縣,改名 禎州,仍治歸善縣。
宋真宗天禧四年為避太子趙禎諱, 改禎州為惠州。
元代,置惠州路。
明洪武元年(1368年)設定惠州府,洪武二年,撤循州府,其轄地併入惠州府。惠州府下設歸善、博羅、紫金、龍川、長樂(五華縣原名)、興寧、長寧(後改連平州)、海豐縣8縣以及連平州屬下的河源、和平2縣。
清初襲明制,雍正九年(1731年)從海豐縣分設陸豐縣,雍正十一年(1733年)改長樂、興寧二縣歸嘉應直隸州。共轄一州9縣,即連平州,歸善、博羅、長寧、永安、海豐、龍川、陸豐、河源、和平, 惠州十屬形成。
民國元年(1912年)歸善縣改名惠陽縣。