機械微加工的一個重要關鍵技術是微機械加工工具機設備的製造。微工具機設備,其加工系統統尺寸小、主軸轉速高,設計製造難度較大。近年來,國內外研製出多種多軸聯動小型加工工具機。機械微加工除了微切削加工外,還可採用精微特種加工技術來實現。採用用高頻率、小脈衝能量、小進給量電火花加工工藝,製作成功的微汽車模具以及用該模具壓製出的微塑膠汽車,其尺度為1mm 左右。
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簡介 分類 LIGA DEM -
微納米加工技術及其套用
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機械加工技術手冊
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《矽微機械加工技術》
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微機械
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概述 發展情況 結構及意義 微機械引發的商業化浪潮 未來發展趨勢