標準漏孔

標準漏孔包括一被測氣體不可滲透的薄膜及形成於該薄膜內預定數目的通孔；通孔具有預定尺寸孔徑，該孔徑範圍為納米級。本發明所提供的標準漏孔，由於通孔的形狀標準，尺寸及數目都可預定，且孔徑大小達納米級；因此可用真空科學的經典理論計算直接得出其漏率值，其可自定標；且漏率範圍較寬，可實現超微小漏率的檢測；因此解決了現有技術中標準漏孔的漏率必須藉助其它設備對其進行標定，漏率範圍較窄等不足。
【 權利要求 】 一種標準漏孔，其包括一被測氣體不可滲透的薄膜及形成於該薄膜內預定數目的通孔；通孔具有預定尺寸孔徑