旋轉點切割大尺寸碳化矽晶體裝置

一種材料加工設備，特別是涉及一種旋轉點切割大尺寸碳化矽晶體裝置。由底座、感測器、金剛石鋸繩、氣動張緊輪、工作滾輪、直流伺服電機、二維夾具機構組成，二維夾具機構由旋轉機械手及步進電機組成，Y軸移動平台上連線有水平角度調整轉台，水平角度調整轉台上連線有垂直角度調整轉台，步進電機聯接在可調支撐板上，經過旋轉軸與物料夾具相連。以旋轉點接觸切割方式替代過去已有的傳統面接觸切割方式，解決了對SiC超硬材的精密切割。