掃描透射電子顯微鏡
(scanning transmission electron microscopy，STEM)
既有透射電子顯微鏡又有掃描電子顯微鏡的顯微鏡。象SEM一樣，STEM用電子束在樣品的表面掃描，但又象TEM，通過電子穿透樣品成像。STEM能夠獲得TEM所不能獲得的一些關於樣品的特殊信息。STEM技術要求較高，要非常高的真空度，並且電子學系統比TEM和SEM都要複雜。
掃描透射電子顯微鏡是指透射電子顯微鏡中有掃描附屬檔案者，尤其是指採用場發射電子槍作成的掃描透射電子顯微鏡。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點而出現的一種新型分析方式。
掃描透射電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的一種發展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜試樣上掃描，與掃描電子顯微鏡不同之處在於探測器置於試樣下方，探測器接受透射電子束流或彈性散射電子束流，經放大後，在螢光屏上顯示與常規透射電子顯微鏡相對應的掃描透射電子顯微鏡的明場像和暗場像。
優點
1. 利用掃描透射電子顯微鏡可以觀察較厚的試樣和低襯度的試樣。
2. 利用掃描透射模式時物鏡的強激勵，可以實現微區衍射。
3. 利用後接能量分析器的方法可以分別收集和處理彈性散射和非彈性散射電子。
