《微電子機械加工系統技術基礎》是2009年冶金工業出版社出版的圖書，作者是孫以材。
《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》還詳細介紹了電學，熱學和力學有限元方法的要領，相關軟體的使用及矽片的加工處理方法。閱讀《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》，可以為MEMS元件的設計和製造打下較好的基礎，從而可以靈活套用所學知識。MEMS技術是21世紀發展的重大技術，涉及國防、航天、醫療等領域。《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》以各種微型閥、微型泵、微型馬達、壓電元器件的製造為目的，闡述其功能，所依據的物理原理及定律。
《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》可供國防、航天、醫療等專業的技術人員閱讀，也可供大專院校有關專業師生參考。
1 靜電場數值計算有限元方法
2 應力場數值計算有限元方法
3 矽MEMS元件的化學腐蝕微機械加工
4 MEMS系統的封裝
5 微電子機械元件的引線
6 MEMS元件的製作
參考文獻
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閱讀《微電子機械加工系統(MEMS)技術基礎》，可以為MEMS元件的設計和製造打下較好的基礎，從而可以靈活套用所學知識。 《微電子機械加工系統(MEMS...
內容介紹微細加工或微小件加工是指對小型工件進行的加工。微細加工通常用在醫療器械領域和電子領域。由微細加工工藝生產的零件通常需要用顯微鏡來觀察。微細加工一般在專門...
簡介 特點 發展狀況 工藝產品 發展前景微電子技術是隨著積體電路，尤其是超大型規模積體電路而發展起來的一門新的技術。微電子技術包括系統電路設計、器件物理、工藝技術、材料製備、自動測試以及封裝、...
發展 戰略作用 發展趨勢 中國現狀 微電子學機械（英文名稱：machinery）是指機器與機構的總稱。機械就是能幫人們降低工作難度或省力的工具裝置，像筷子、掃帚以及鑷子一類的物品都可以被稱為機械，...
概念來源 現代機械 主要特徵 研究領域 主要分類特種加工亦稱“非傳統加工”或“現代加工方法”，泛指用電能、熱能、光能、電化學能、化學能、聲能及特殊機械能等能量達到去除或增加材料的加工方法，從而實現材料...
概述 發展 特點 運用領域 獨到之處機械（英文名稱：machinery）是指機器與機構的總稱。機械就是能幫人們降低工作難度或省力的工具裝置，像筷子、掃帚以及鑷子一類的物品都可以被稱為機械，...
基本簡介 概念來源 現代機械 主要特徵 研究領域機電一體化又稱機械電子工程，是機械工程與自動化的一種，英語稱為Mechatronics，它是由英文機械學Mechanics的前半部分與電子學Electr...
發展 研究目的 內容 階段 組成要素微機電系統（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小...
概念解析 發展歷史 系統優點 系統特點 主要分類