微納電子器件

版次:1 開本:32 出版時間:2005-5-1

內容簡介

本書主要講述一些重要半導體器件的基本工作原理和特性，力求概念闡述清晰和理論聯繫實際，同時儘可能反映出器件發展的動向。由於納米電子器件的飛速發展和未來潛在的重大作用，所以本書對此專門作為一個部分進行了簡要的介紹。近年來，MEMS（微電子機械系統）器件的出現極大擴展了微電子學領域研究的範疇，本書中簡要介紹了MEMS器件的主要特點和發展趨勢，希望拋磚引玉，能夠對國內MEMS器件的發展起到一定作用；另外，由於計算機用於半導體器件分析、模擬和設計的重要性，所以我們也專門對此有關的內容作了比較仔細的介紹。

本書可供研製微電子器件及其電路的科技人員參考，也可以供微電子本科生或研究生教學參考之用。

目錄信息

第1章pn結二極體1

11pn結及其空間電荷區1

12pn結的耗盡層（勢壘）電容4

13pn結的直流特性6

14pn結的小信號特性12

15pn結的開關特性14

16pn結的擊穿特性15

17隧道二極體和反向二極體18

18異質結二極體22

19Schottky二極體26

110Ohm接觸29

複習思考題30

參考文獻31

第2章雙極型電晶體（BJT）32

21BJT的基本工作原理32

22理想BJT的直流特性35

23實際BJT的直流特性43

24BJT的頻率特性56

25BJT的功率特性67

26BJT的開關特性74

27異質結雙極型電晶體（HBT）81

28晶閘管（Thyristor）87

複習思考題90

參考文獻91

第3章場效應電晶體（FET）93

31JFET的基本特性93

32JFET的直流參數和低頻小信號交流參數95

33JFET的頻率特性99

34短溝道JFET的特性102

35JFET的結構舉例104

36砷化鎵金屬柵場效應電晶體（GaAsMESFET）106

37高電子遷移率電晶體（HEMT）108

複習思考題119

38大尺寸MOSFET119

39小尺寸MOSFET137

310SOIMOSFET152

複習思考題154

參考文獻155

第4章其他半導體器件156

41渡越時間器件（TTD）156

42轉移電子器件（TED）172

複習思考題186

參考文獻186

第5章微電子器件的計算機輔助分析（CAA）和計算機輔助設計（CAD）188

51微電子器件的模型189

52微電子器件的計算機輔助分析（CAA）192

53微電子器件的CAD技術206

54微電子器件CAA和CAD技術的發展趨勢216

參考文獻218

第6章MEMS器件219

61MEMS技術現狀及前景219

62用於通信領域的MEMS器件223

63用於生化醫學領域的MEMS器件228

64用於慣性測量的MEMS器件232

65幾種MEMS微執行器239

參考文獻249

第7章納米器件簡介251

71納米器件工藝概論251

72納米體系中的電子波256

73電子波器件272

74單電子學——Coulomb阻塞效應282

75單電子器件290

76納米積體電路概論302

參考文獻308