內容介紹
《形狀記憶合金薄膜:基礎與器件套用(英文)》主要內容簡介：形狀記憶合金（SMAs,ShapeMemoryAlloys）是一種在經過嚴重變形後能夠通過加熱恢復原來形狀的材料。這種材料具有很多優良的特性，如具有高力體積比，這使它在受熱或冷卻時能夠產生很大的應變力，另外它還具有超彈力、高阻尼、良好的耐化學腐蝕性和生物兼容性等性能。SMAs的這些獨特的性能引起了人們對它作為智慧型和功能材料套用潛能的極大關注。最近，SMAs薄膜已被認為是微機電機械系統（MEMS）和生物器件的一種新型的極具發展潛力的高性能材料。
目錄
編著者名單
前言
各章摘要
1 濺射沉積TiNi基薄膜的綜述
摘要
1.1 引言
1.2 製備和表征手段
1.2.1 薄膜沉積
1.2.2 TiNi薄膜的表征
1.2.3 TiNiX三元合金薄膜
1.2.4 殘餘應力與應力演化
1.2.5 回響頻率
1.2.6 附著與界面分析
1.2.7 穩定性、衰減及疲勞特性
1.2.8 膜厚的影響
1.2.9 溫度記憶效應
1.2.10 納米尺度上力學性能評價
1.2.11 功能梯度薄膜和複合TiNi基薄膜
1.3 TiNi薄膜在微機電系統中的套用
1.3.1 各種微驅動機制的比較
1.3.2 TiNi薄膜微驅動器的建模和最佳化設計
1.3.3 基於雙程形狀記憶效應的獨立式微驅動器
1.3.4 TiNi隔膜、微泵與微閥
1.3.5 微夾鉗
1.3.6 微型感測器、微型開關和微型繼電器
1.3.7 其他套用
1.4 小結
參考文獻
2 TiNi合金中的馬氏體相變
摘要
2.1 引言
2.2 TiNi相圖
2.3 馬氏體相變晶體學
2.4 相變應變
2.5 相變溫度
2.6 基於馬氏體相變的形狀記憶效應和超彈性
2.7 變形行為
2.8 小結
參考文獻
3 TiNi薄膜的沉積技術
摘要
3.1 TiNi薄膜的製備簡介
3.2 濺射沉積
3.3 濺射工藝
3.4 利用電阻率和應力-應變測量對薄膜特性的表征
3.5 薄膜的連線方法
3.5.1 電阻焊接
3.5.2 雷射焊接
3.5.3 超聲焊接
3.6 TiNi薄膜和微機電系統工藝
3.6.1 熱處理
3.6.2 TiNi薄膜的圖案化
3.6.3 犧牲層
3.7 微型驅動器的製造
3.7.1 提升閥驅動器
3.7.2 彎曲梁驅動器
3.8 血管內醫療器械的製造
3.8.1 三維基體上的平面濺射
3.8.2 多層法濺射
3.9 TiNi薄膜的相關文獻
3.1 0 小結
致謝
參考文獻
4 TiNi多層薄膜
摘要
4.1 引言
4.2 多層TiNi薄膜的製備
……
5 晶化與微觀組織演化
6 TiNi薄膜的力學性能
7 應力和表面形貌演化
8 離子注入處理及其相關輻照效應
9 雷射後退火工藝及理論
10 形狀記憶合金薄膜套用概述
11 微驅動器和微泵用形狀記憶合金薄膜的理論研究
12 二元與三元薄膜隔膜微驅動器
13 TiNi薄膜器件
14 形狀記憶微閥
15 超彈性薄膜及其在醫療器械中的套用
16 濺射沉積TiNi超彈性微管的製備和表征
17 形狀記憶薄膜微籠及其生物醫學套用
18 形狀記憶薄膜複合微驅動器
19 TiNi薄膜形狀記憶合金在光感測方面的套用
致謝
參考文獻
