簡介
平面靶材：planetarget濺射靶材根據形狀可分為平面靶材，多弧靶材，旋轉靶材。平面靶材主要是指具有一定厚度的圓形靶材及矩形靶材，例如：直徑100*厚度40mm的銅靶材。平面靶材通過鏍文等方式與濺射設備相連線，在真空條件下濺射成膜層附著於基片上，再通過各種手段（刻蝕）對薄膜加工，以滿足不同需要。
成分結構
主要平面靶材：高純鋁靶材Al 高純銅靶材Cu 高純鐵靶材Fe 高純鈦靶材Ti 高純鎳靶材Ni
高純鎂靶材Mg高純鉻靶材Cr 高純鋅靶材Zn 高純銀靶材Ag 高純鈷靶材Co
高純鈮靶材Nb 高純錫靶材Sn 高純銦靶材In 高純鋯靶材Zr 高純鉭靶材Ta
高純鍺靶材Ge 高純矽靶材Si高純鎢靶材W 高純鉿靶材Hf 高純釔靶材Y
高純釓靶材Gd 高純釤靶材Sm 高純鏑靶材Dy 高純鈰靶材Ce 高純鑭靶材La
高純金靶材Au 高純不鏽鋼靶材高純石墨靶材C 高純硒靶材Se高純鉬靶材Mo
高純合金濺射靶材
二元合金靶
鎳鉻靶Ni-Cr 鎳鐵靶Ni-Fe 鎳鈷靶Ni-Co 鎳鋯靶Ni-Zr 鎳鋁靶Ni-Al鎳銅靶Ni-Cu鎳釩靶Ni-V銅銦靶Cu-In 銅鎵靶Cu-Ga 銅硒靶Cu-Se鈦鋁靶Ti-Al鋁矽靶Al-Si鋁銅靶Al-Cu 鋁鈦靶Al-Ti 鋁鎂靶Al-Mg 銀銅靶Ag-Cu 鐵錳靶Fe-Mn銦錫靶In-Sn 鈷鐵靶Co-Fe鎢鈦靶W-Ti鋅鋁靶Zn-Al 鋁鈧靶Al-Sc銅錫靶Cu-Sn鋯鋁靶Zr-Al 鋯鐵靶Zr-Fe 鋯矽靶Zr-Si 釩鋁靶V-Al硼鐵靶B-Fe
多元合金靶
鈷鐵硼靶Co-Fe-B 銅銦鎵靶Cu-In-Ga銅銦鎵硒靶Cu-In-Ga-Se等。
