屈新萍

教授，博導
簡歷：1993年畢業於華中理工大學（現華中科技大學），獲學士學位；1996年畢業於中科院上海矽酸鹽研究所，獲碩士學位；1999年畢業於復旦大學電子程系固體電子學與微電子學專業，獲博士學位。2000.3-2001.3赴比利時根特大學固態科學系做博士後科研，進行新型矽化物接觸材料研究、亞0.18um Cu互連技術的研究等。2001年6月進入復旦大學微電子學系工作，2001年11月晉升副教授, 2003年7月起擔任信息學院院長助理，負責學院外事工作。2006年4月晉升教授。目前在研一項國家自然科學基金（原子層澱積銅互連超薄擴散阻擋層研究)、上海市科技啟明星項目（原子層澱積銅互連超薄擴散阻擋層研究)、中國－比利時國際合作項目(先進半導體的接觸材料的形成和性能研究)、863項目（新型納米壓印技術及開發）、國際教育培訓項目(中國-德國合作)( 先進互連材料和概念研究)的子課題，是國家973項目子課題的學術骨幹。一項留學回國人員啟動基金、一項國家自然科學基金項目(金屬誘導非晶Si-Ge-C薄膜低溫橫向結晶技術)和上海市科委納米中心項目（自組織矽化物納米線製備及表征）已經結題。曾在1998年國際積體電路和固態技術會議上獲“最佳研究生論文獎”，曾獲教育部科技進步三等獎，2002年入選復旦大學“世紀之星”計畫，獲得“教學和科研綜合獎”，2002年獲得復旦大學柯達獎教金，2003年入選上海市教育委員會評選的“2003年度上海高校優秀青年教師後備人選”，2004年入選上海市科委“科技啟明星”人才項目，2005年獲得復旦大學復華獎教金，並評為“復旦大學優秀世紀之星”。至今已在SCI、EI期刊和ISTP上發表論文70多篇，編輯了“第六屆國際積體電路和固態技術會議”論文集（第三編輯），作為第4屆國際結技術研討會出版委員會主席主編了“第四屆國際結技術研討會”論文集，2006年第六屆國際結技術研討會(上海召開)程式委員會共主席。組織了2004，2005，2006年復旦－諾發銅互連技術國際研討會。IEEE高級會員, MRS學會會員,美國電化學學會雜誌JES、歐洲Elsevier雜誌、中國半導體學報、中國物理快報等雜誌審稿人。
研究興趣：
1)亞45納米銅互連工藝中新材料，新結構，新工藝研究，包括原子層澱積(Atomic Layer Deposition) 金屬和氮化物研究、無籽晶銅互連、超薄擴散阻擋層等研究；
2)納米壓印技術(Nanoimprint)研究，利用Nanoimprint技術製備新型納米結構及納光學、納電子學研究；
3)低溫高遷移率薄膜電晶體研究，包括低溫多晶矽、ZnO基薄膜電晶體製備與研究。
4)矽化物納米結構研究。