設備工藝
1、預處理－反滲透－水箱－陽床－陰床－混合床－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精製混床－精密過濾器－用水對象
2、預處理－一級反滲透－加藥機（PH調節）－中間水箱－第二級反滲透－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象
3、預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象
4、預處理－反滲透－中間水箱－水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵－紫外線殺菌器－精製混床－0.2或0.5μm精密過濾器－用水對象為滿足用戶需要，達到符合標準的水質，儘可能地減少各級的污染，在工藝設計上，取達國家自來水標準的水為源水，再設有介質過濾器，活性碳過濾器，精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床系統等。
標準配置
第一道 一體式PPF精密濾芯：過濾泥沙、顆粒物
第二道 一體式活性炭濾芯：吸附有機物、余氯
第三道 反滲透膜裝置（品牌：陶氏）：第一步脫鹽和去除自來水中的細菌和有機物
第四道 壓力純水桶：存放反滲透純水，同時提供取水動力
第五道 離子交換柱（品牌：羅門哈斯）：第二步脫鹽，電阻達10兆歐以上
第六道 核級超純化柱：第三步深度脫鹽，電阻達18.2兆歐以上
第七道 終端1微米微孔過濾：過濾細小顆粒物質
第八道 超純水專用0.45+0.2微米孔徑終端過濾器（選配）：去除細菌及雜質
其 他 電子元器件等：提供各種控制功能
適用範圍
適合生產半導體、積體電路晶片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業用超純水系統。水質可達最高可達18.3兆歐，符合電子行業生產所需超純水水質要求。
●電子行業生產如單晶矽、半導體、積體電路塊、IC晶片封裝、顯像管、玻殼、液晶顯示器、印刷電路版、光學、
光電、熱電廠、冶金、化工、輕工、汽車製造、製藥、醫療衛生等製造工業用純水製造；
●醫藥行業的大輸液、醫藥製劑、檢驗分析、血液透析、製藥、製劑工藝用水製造；
●塗裝行業如電鍍、電池生產、電泳漆生產線；汽車、電器、建材產品表面清洗、塗裝；玻璃、塑膠表面鍍膜等；
●化工行業用水製造如化學製藥、紡織印染、精細化工、化妝品、墨盒、日化產品等；
●實驗超純水如工廠、大學及公司的生產實驗室、化學實驗室、物理實驗室、中試車間、醫院生化室等。
產品優點
1、節省空間的船塢式水箱內壁光滑，配置複合通氣過濾器，可以保證水具有最理想的純度
2、完全在循環管路內的UV確保了最小的微生物污染
3、可選擇EDI（option-r） 純化技術
4、高度可調的取水龍頭可滿足牆面或台面安裝的需要完全在循環保證了出水點的水質
超純水
含義
純度極高的水。積體電路工業中用於半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的製備和矽片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的製作也都要使用超純水。超純水是指下列雜質含量極低的水：①無機電離雜質,如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娛、NO婣、SiO婣、PO等；②有機物,如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等；③顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體矽等；④微生物,如細菌、浮游生物和藻類等;⑤溶解氣體, 如N2、O2、CO2、H2S等。超純水中電離雜質的含量用水的電阻率數值來衡量。理論上,純水中只有H離子和OH離子參加導電。在25℃時超純水的電阻率為 18.3(兆歐·厘米)，一般約為15～18（兆歐·厘米）。
超純水中有機物含量由測定有機物碳含量而定，電子工業超純水中規定含量為50～200微克/升,並要求直徑大於1微米的顆粒性物質每1毫升內含量為1～2個，微生物每1毫升為0～10個。現代採用預處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過濾技術等，使超純水的電阻率在25℃時達到18(兆歐·厘米)。
依各種原水水質和用戶要求的不同，超純水的製備工藝大體可分為預超純水處理、脫鹽和精處理三步。
處理方法
預處理
包括砂濾、多介質過濾、軟化、加氯、調節pH、活性碳過濾、脫氣等。過濾可除去 1～20微米大小的顆粒，軟化和調節pH可防止反滲透膜結垢，加氯是殺菌。活性碳過濾是除去有機物和自由氯，脫氣是清除溶於水中的CO2等。
脫鹽
包括電滲析、反滲透、離子交換。電滲析的原理是在外加直流電場作用下利用陽離子和陰離子交換膜對離子選擇性透過，脫鹽率可達95%以上。反滲透是滲透現象的逆過程,在濃溶液上加壓力,使溶劑從濃溶液一側通過半透膜向稀溶液一側反向滲透，脫鹽可達98%，並能除去99%的細菌顆粒和溶解在水中的有機物。離子交換的原理是當水通過陽離子交換樹脂時，水中的陽離子被陽離子交換樹脂吸附，樹脂上可交換的陽離子如H離子被置換到水中，並和水中的陰離子結合成相應的無機酸，如超純水，這種含有無機酸的水，當下一步通過陰離子交換樹脂層時，水中的陰離子被陰離子交換樹脂吸附。
精處理
樹脂上可交換的陰離子如OH離子被置換到水中,並與水中的H離子結合成水，即超純水精處理 包括紫外線殺菌、終端膜過濾和超濾。紫外線殺菌是因生物體的核酸吸收紫外線光的能量而改變核酸自身結構,破壞核酸功能而使細菌死亡。殺菌最強的光譜波長為2600埃。各種膜過濾能除掉直徑大於 0.2微米的顆粒，但對於清除有機物則不如反滲透和超濾有效。超濾是把各種選擇性的分子分離。在超濾過程中，水在壓力下流過一個卷式或中空纖維膜棒。膜孔徑在10～200埃範圍內,薄膜厚度為0.1～0.5微米,附在一個中孔的纖維棒內壁上，超濾能除去細菌和0.05微米的粒子。
工作原理
超純水設備工作原理在樹脂交換過程中，樹脂上可交換離子全部被交換完了，樹脂就不再有交換水中離子作用，我們稱這種現象為“失效”。我們把樹脂再生後獲得再生的工作交換容量與該樹脂全部工作交換容量比值，這種情況我們稱之為樹脂再生度。
超純水設備運行過程中再生劑，再生濃度，流量，溫度以及工藝操作，反洗情況和吸流床樹脂的再生度均會影響樹脂再生度。我們通常根據樹脂再生度來判斷交換床再生情況。
