姚漢民

μm～1μm投影光刻機、中國科學院重大項目0．7μm～O．8 作為項目負責人，主持完成“九五”重大項目O．35μm投影光刻關鍵單元技術研究。 作為首席專家完成中國科學院知識創新工程重大方向性項目“生物晶片儀器”項目研究。

長期從事光電跟蹤光學儀器和微電子光學設備的研究，1979年至今，參加JX-1型接近/接觸式光刻機，圓形電子束、可變矩形電子束曝光機雷射定位工件台系統，掩模缺陷自動檢測系統，1．5 pan～2 btm分步重複投影光刻機等研究工作。主持國家“八五”攻關項目O．8 μm～1μm投影光刻機、中國科學院重大項目0．7μm～O．8 μmi線投影曝光系統的研究。作為項目負責人，主持完成“九五”重大項目O．35μm投影光刻關鍵單元技術研究。作為首席專家完成中國科學院知識創新工程重大方向性項目“生物晶片儀器”項目研究。先後獲國家科技進步三等獎兩項，中國科學院科技進步一等獎四項、科技進步二等獎一項。
現為國際SPIE學會會員，中國光學學會會員，四川省學術和技術帶頭人。兩次被評為四川省先進工作者，兩次被評為電子工業部“七五”、“八五”科技攻關先進個人，獲光華科技基金三等獎。發表論文50多篇，授權專利五項，培養博士生、碩士生十餘名，學生中獲中科院院長獎學金優秀獎3名。九二年享受國家政府特殊津貼。2001年榮獲全國“五一”勞動獎章。