麥克風 矽麥克風是通過MEMS技術在矽半導體上蝕刻壓力感測膜片而製成的微型...聲波探測技術主要有電容式、壓電式、壓阻式、光學式、微流式等。 用MEMS...報警器、自動門、接近開關, 測距、液位或料位感測器, 以及材料探傷、測厚...