單晶爐

單晶爐的構成
提拉頭:主要由安裝盤減速機籽晶腔劃線環電機磁流體籽晶稱重頭軟波紋管等其他部件組成?副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成?爐蓋:副室連線法蘭,翻板閥,觀察窗抽真空管道組成?爐筒:包括取光孔?下爐筒:包括抽真空管道?底座機架:全鑄鐵機架和底座?坩堝下傳動裝置:主要由磁流體電機坩堝支撐軸減速機軟波紋管立柱上下傳動支撐架導軌等部件組成?分水器已經水路布置:包括分水器,進水水管,若干膠管水管卡套等?氬氣管道布置:質量流量計3根以上的柔性管不鏽鋼管3個壓力探測器高密封性卡套等部件?真空泵已經真空除塵裝置:油壓真空泵水環真空泵過濾器真空管道硬波紋管等?電源以及電控櫃:電源櫃濾波櫃控制櫃以及連線線
單晶爐的定義
單晶爐是一種在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶矽等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。
購買技術主要要求
1.單晶爐裝料量(單台機產能多少)

2.能拉多長、幾寸的矽棒

3.拉晶整棒率多少

4.拉出矽棒品質(勺子壽命、電阻率、碳氧含量、電子分布均勻度等)

5.設備製造工藝控制保證6自動化控制程度7設備主要關鍵部件的配置等。
單晶爐型號定義
單晶爐型號有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號是由裝料量來決定的

單晶爐主要需要控制的方面
一、晶體直徑二、溫度三、原料四、泄漏率,氬氣質量等

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