半導體材料測試與分析

半導體材料測試與分析

《半導體材料測試與分析》是2010年科學出版社出版的圖書,作者是楊德仁。

基本信息

內容簡介

半導體材料測試與分析半導體材料測試與分析
《半導體材料測試與分析》主要介紹半導體材料的各種測試分析技術,涉及測試技術的基本原理、儀器結構、樣品製備和套用實例等內容:包括四探針電阻率、無接觸電阻率、擴展電阻、微波光電導衰減、霍爾效應、紅外光譜、深能級瞬態譜、正電子湮沒、螢光光譜、紫外-可見吸收光譜、電子束誘生電流、I-V和C-V等測試分析技術。半導體材料是微電子、光電子和太陽能等工業的基石,而其電學性能、光學性能和機械性能將會影響半導體器件的性能和質量,因此,半導體材料性能和結構的測試和分析,是半導體材料研究和開發的重要方面。
《半導體材料測試與分析》可供大專院校的半導體物理、材料與器件、材料科學與工程和太陽能光伏等專業的高年級學生、研究生和教師作教學用書或參考書,也可供從事相關研究和開發的科技工作者和企業工程師參考。

圖書目錄

前言
第1章 電阻率測試
第2章 擴展電阻測試
第3章 少數載流子壽命測試
第4章 少數載流子擴散長度測試
第5章 霍爾效應測試
第6章 紅外光譜測試
第7章 深能級瞬態譜測試
第8章 正電子湮沒譜測試
第9章 光致螢光譜測試
第10章 紫外-可見吸收光譜測試
第11章 電子束誘生電流測試
第12章 I-V和C-V測試
參考文獻

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