化學氣相沉積制粉法

(3)複合反應法。 (5)置換反應法。 是利用置換反應進行氣相沉積來獲得粉末的方法。

化學氣相沉積制粉法(preparation of powder by chemical vapor deposition)
利用揮發性金屬化合物蒸氣分解或與其他氣體間的化學反應獲得超細粉末的一種粉末製取方法。
根據化學反應的形式，化學氣相沉積制粉法可以分為5種：
(1)熱分解法。是利用金屬或非金屬化合物蒸氣在一定溫度下進行熱分解來獲得粉末的方法。
(2)氫還原法。是利用氫氣在一定溫度下還原化合物來獲得粉末的方法。
(3)複合反應法。是利用兩種或兩種以上成分同時進行化學反應來獲得粉末的方法。
(4)固相擴散反應法。是將金屬粉末置於氣相原料分解後所產生的元素中，進行氮化、碳化、硼化和氧化等反應來獲得複合粉末的方法。
(5)置換反應法。是利用置換反應進行氣相沉積來獲得粉末的方法。
必須指出，上述反應都必須在一定的溫度、壓力條件下進行。
化學氣相沉積制粉法大部分用來製備超細金屬、非金屬及複合物粉末，它具有工藝簡單、粒度容易控制及粒度分布窄等特點，可以製取純金屬粉末及合金粉末(如鐵、鈷、鎳、鎢、鉬、鐵一鈷、鐵一鈷一鎳等)。化學氣相沉積法的特點是，用來製備陶瓷粉末(如氮化物、碳化物、碳氮化物、硼化物、氧化物等)。除用於一般的粉末冶金製品外，主要用於製造精細陶瓷製品。這些製品包括：電磁元件、機械零件、化學醫療器件、熱物性製品、光學器件及其他結構件。用化學氣相沉積法製備的陶瓷粉末加工成精細陶瓷具有耐氧化、耐腐蝕、耐熱衝擊、高溫強度好等特性，今後有可能部分代替目前使用的軸承鋼、耐熱鋼、不鏽鋼、硬質合金和超合金等材料。