劉曉為[哈爾濱工業大學航天學院博士生導師]

劉曉為，目前任教於哈爾濱工業大學航天學院博士生導師。總裝微納米技術專家組成員；總裝軍用電子元器件型譜系列專家組成員；電子學會 敏感技術分會 力敏專業委員會 副主任；東北微機電系統（MEMS）技術聯合體 副秘書長；《感測器技術》 編委；黑龍江省政協委員。

基本信息

• 中文名：劉曉為
• 民族：漢族
• 國籍：中國
• 職業：博士生導師
  
• 畢業院校：哈爾濱工業大學
• 代表作品：電容式加速度感測器的計算機模擬, 壓電與聲光

人物經歷

1978-1982年：畢業於哈爾濱工業大學半導體器件專業獲學士學位

1984-1988年：畢業於哈爾濱工業大學半導體器件與微電子學專業獲碩士學位

1988-1992年：哈爾濱工業大學航天學院講師

1992-1999年：哈爾濱工業大學航天學院副教授

1999-2003年：哈爾濱工業大學航天學院教授

2003- 2014年：哈爾濱工業大學航天學院博士生導師

研究方向

研究方向

從事MEMS、感測器與執行器及積體電路領域研究，包括： 1.MEMS CAD技術：MEMS微結構模擬仿真與最佳化設計，包括力、流體、溫度和電磁場等分析； 2.感測器ASIC接口電路集成技術：通過積體電路晶片設計及加工實現感測器與電路的集成化，包括模擬電路和數模混合電路晶片設計； 3.MEMS多功能感測器技術：包括壓力-溫度、聲-振動和自檢測壓力等感測器； 4.MEMS微驅動和微執行器技術：包括PZT壓電厚膜驅動和微閥、微泵等； 5.MEMS SOC技術研究：包括微流體測控系統和微生化分析系統等； 6.生物晶片技術。

論著成果

論著成果

[1]劉曉為等, 硼摻雜多晶矽薄膜電阻率的溫度特性, 半導體學報, 1994,15(6):429-434

[2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149

[3]劉曉為等, 電容式加速度感測器的計算機模擬, 壓電與聲光, 2001.10:170~172

[4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICT’98. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.

[7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON　ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMI’99. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08.

[8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.

[9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.

[10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05.