光強對數斜率

光強對數斜率（Image Log Slope,ILS）用於評價空間像質量，成像的對數斜率值越大，空間成像對比度越高，成像的質量也越好 。

光刻膠對圖形的解析度不僅與自身性能有關，而且與光刻機曝光系統的解析度有關。光刻機的分辯能力通常用圖形邊緣處的空間圖像對比度來定量表示，定義為：

光強對數斜率

光強對數斜率

光強對數斜率

式中，和|Edge分別是圖形邊緣處的光強及其斜率。空間圖像的對比度純粹是由掩模和曝光系統決定的，沒有計入光刻膠的影響，如圖1所示。與圖像空間對比度類似的一個量是圖像的歸一化對數斜率（Normalized Image Log Slope, NILS），定義為：

光強對數斜率

式中，w是掩模板上透光區的寬度。但是，在晶圓廠中一般無法直接測量ILS或者NILS，定量的ILS和NILS只能通過仿真計算獲得 。

光強對數斜率

圖1空間像對比度的定義