圖書信息
書名:相變存儲器
作 者:宋志棠
出版社:科學出版社
出版時間:2010-2-1
ISBN:9787030267405
開本:16開
定價:49.00元
內容簡介
本書依託國家“863”、“973”等項目,圍繞PCRAM研發所涉及的基礎科學與關鍵技術問題,對PCRAM的基本原理、PCRAM所用的材料體系、新型相變材料的理論與方法、PCRAM的關鍵單項工藝與集成工藝、器件單元結構改進、PCRAM所涉及的器件結構與晶片模擬、測試、晶片設計與製造等方面進行了較為詳細的階段性工作總結。本書適合材料、微電子等相關專業的研究生、科技人員和教學人員使用。
圖書目錄
前言第1章緒論
第2章Ge2Sb2Te5相變材料及其改性
第3章新型相變材料
第4章相變存儲單元製備及關鍵工藝
第5章相變存儲器模擬
第6章新結構相變存儲單元
第7章相變存儲器測試
第8章相變存儲器設計與製造