UHP[超高純工業系統]

超高純工業系統(UltraHighPureindustry)是一種對於流質純度和雜質種類具有嚴格限制的工業系統。

該系統的特徵在於，流質的純度一般在99.99%以上，操作環境潔淨度要求極高，同時，流質內雜質種類不得多於4種。

該系統主要套用在半導體、電子、航天和製藥產業中。