SOG(Silicon On Glass),即矽-玻璃鍵合結構。指通過機械或化學方法將矽(單晶、多晶、多孔)與玻璃進行粘合後形成的層合材料。通常可以採用的粘合方法有:陽極鍵合法,黏著劑中間夾層法,矽(或玻璃)表面鍍膜粘結法(如碳化矽膜)