RHEED

RHEED，即反射高能電子衍射儀，其裝置由高能電子槍和螢光屏兩部分組成。

RHEED（reflection high-energy electron diffraction）：反射高能電子衍射儀。。RHEED 裝置由高能電子槍和螢光屏兩部分組成,從電子槍發射出來的具有一定能量(通常為10 - 30kev) 的電子束以1 - 2°的掠射角射到樣品表面,那么,電子垂直於樣品表面的動量分量很小,又受到庫侖場的散射,所以電子束的透入深度僅1 - 2 個原子層, 因此RHEED 所反映的完全是樣品表面的結構信息[(3見]圖1) ,並且在研究晶體生長、吸附、表面缺陷等方面也取得了很大的進展[。4 ,5它] 是當今表面科學和原子級的人工合成材料工程中的強有力的原位分析與監控的手段。特別是在分子束(MBE) 外延技術中,利用RHEED 進行原位監測是一個重要手段。